所，在攻克光刻机光源波长193nm的世界性难题进行了近十年的潜心研究，在我之前就提出来以纯净水作为光源介质的研究新路径，在国际光学和光刻机权威杂志上发表了数十篇有影响力的论文，通过实验论证了浸没原理的可行性，在浸没原理方面的研究成果远远走在了我们和ASML的前面，我当时就预感，他们通过纯净水作为光源介质，已经攻克了193nm波长光源的世界性难题，研制成功了134nm波长光源的激光器。” 林本坚的面色发红，虽然没有有意抄袭BSEC专利技术的企图，但在研发的过程中，发现BSEC不仅研发成功了浸没式光学系统和浸没式光刻机，还在世界专利局申请了9项技术专利，其中就包括以纯净水作为光源介质的专利技术，他的团队和ASML研究所只好硬着头皮继续沿着这条路径研发下去，最后研究成功，还向世界专利...